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壓阻式壓力傳感器的線性度應該注意哪些事項?

發表時間:2022-03-01 18:39【 閱讀量:-查看手機網址
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  壓阻式壓力傳感器的線性度應該注意,在線性規范中,%FS(滿量程,最終值)最常被應用。就測量值而言,即使制造商規范列出了一個非常小的值,盡管以%FS顯示,誤差也可能具有相當大的分量。


  在壓力測量單元中,線性度取決于幾個因素:


  1.半導體電阻器必須足夠小并擴散到硅膜片上的正確位置,


  2.硅膜片必須干凈、邊緣鋒利且位置正確,


  3.線性度是變化的,無論是測量正壓還是負壓,這意味著隔膜是凸出還是凹入(拉伸或壓縮負載),


  4.硅膜片的直徑與厚度之比必須在特定范圍內。非常薄的膜片會因疊加拉伸而變形:這種氣球效應在用于較低壓力范圍的傳感器中會導致線性曲線的典型S形曲線(無法通過模擬補償方法進行校正)。


  5.對于非常厚的硅膜片,剛性固定在其邊緣的膜片的預期結構不再可實現,因為例如對于1,000 bar傳感器,膜片的厚度是芯片本身的一半。

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